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高周波マグネトロンスパッタリング法によるチタン系窒化膜の合成および膜特性の評価
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2014年03月
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
長谷川裕之，谷川秀平
題名：
高周波マグネトロンスパッタリング法によるチタン系窒化膜の合成および膜特性の評価
発表情報：
日本機械学会 九州支部 第67期講演会 ページ: No.716
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
Author：
Title：
Announcement information:
Page: No.716
