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Tribological Properties and Oxidation Resistance of (Cr,Al,Y)N and (Cr,Al,Si)N Films Synthesized by Radio-Frequency Magnetron Sputtering Method

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2010年
DOI：
10.1016/j.surfcoat.2010.08.017
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
T. Miyake, A. Kishimoto, H. Hasegawa
題名：
Tribological Properties and Oxidation Resistance of (Cr,Al,Y)N and (Cr,Al,Si)N Films Synthesized by Radio-Frequency Magnetron Sputtering Method
発表情報：
Surface & Coatings Technology 巻: 205 ページ: S290-S294
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
T. Miyake, A. Kishimoto, H. Hasegawa
Title：
Tribological Properties and Oxidation Resistance of (Cr,Al,Y)N and (Cr,Al,Si)N Films Synthesized by Radio-Frequency Magnetron Sputtering Method
Announcement information:
Surface & Coatings Technology Vol: 205 Page: S290-S294

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